센서 Assy, 진공 OEM 89420-PW030 MAP 센서 부품 토요타

센서 어셈블리, 진공 OEM 89420-PW030 MAP 센서 부품 (Toyota용)

제품 정보:

모델 번호: 89420-PW030

다음 차량에 사용: Toyota

제품 유형: 매니폴드 절대 압력 센서 (MAP 센서)

크기: 표준 크기

보증 기간: 12개월

재고: 사용 가능

차량 호환: Toyota

진공 센서 제조는 여러 정밀 기술을 통합합니다:

MEMS (미세 전자기계 시스템): 이는 진공 압력 센서의 핵심입니다. 마이크론 단위의 기계 구조와 회로는 포토리소그래피, 에칭, 박막 증착과 같은 반도체 공정을 통해 실리콘 웨이퍼에 제작됩니다.

압전 저항 효과: 많은 MAP 센서는 압전 저항 효과를 활용합니다. 실리콘 재료가 압력에 의해 변형되면 저항이 선형적으로 변합니다. 제조 과정에서 불순물 원자를 실리콘 멤브레인의 특정 영역에 주입하여 압전 저항 소자를 생성하여 압력을 정확하게 감지합니다.

웨이퍼 접합: 이는 기준 진공 챔버를 생성하는 데 사용됩니다. 미세 기계 구조가 있는 실리콘 웨이퍼는 다른 유리 또는 실리콘 웨이퍼에 진공 상태에서 접합 및 밀봉되어 기준 진공 챔버를 형성합니다.

온도 및 압력 보상: 전체 온도 및 압력 범위에서 출력 정확도를 보장하기 위해 온도 센서와 전용 보상 회로가 칩에 통합됩니다.

견고한 패키징: 패키징은 깨지기 쉬운 MEMS 칩을 보호할 뿐만 아니라 밀봉 및 장기적인 안정성을 보장하면서 외부 압력을 감지 다이어프램으로 정확하게 전달해야 합니다.

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FAQ:

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